硅基光電子學是探討微米/納米級光子、電子、及光電子器件的新穎工作原理,并使用與硅基集成電路技術兼容的技術和方法,單片或混合集成在同一硅襯底上的一門科學。
所謂硅基光電子學 ,就是研究和開發以光子和電子為信息載體的硅基大規模集成技術。其核心內容就是研究如何將光子器件"小型化"、“硅片化”并與納米電子器件相集成,即利用硅或與硅兼容的其他材料,應用硅工藝,在同一硅襯底上同時制作若干微納量級,以光子和/或電子為載體的信息功能器件,形成一個完整的具有綜合功能的新型大規模集成芯片。
硅基光電子學研究的具體內容包括: 硅中光子與電子的相互作用, 硅基光波導,硅基無源器件,硅基光源,硅基光學調制,硅基光電探測器,硅基表面等離子激元器件,硅基光電子器件工藝與系統集成,硅基光電子學的應用等。
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